
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是通過(guò)測(cè)量氣體流經(jīng)流量計(jì)內(nèi)加熱元件時(shí)的冷卻效應(yīng)來(lái)計(jì)量氣體流量的。氣體通過(guò)的測(cè)量段內(nèi)有兩個(gè)熱阻元件,其中一個(gè)作為溫度檢測(cè),另一個(gè)作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測(cè)氣體溫度,加熱器則通過(guò)改變電流來(lái)保持其溫度與被測(cè)氣體的溫度之間有一個(gè)恒定的溫度差。當(dāng)氣體流速增加,冷卻效應(yīng)越大,使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量,即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對(duì)應(yīng)的函數(shù)關(guān)系來(lái)反映氣體的流量。
采用熱式原理測(cè)量的氣體質(zhì)量流量控制器具有壓損低、流量范圍度大、高精度、高重復(fù)性和高可靠性等特點(diǎn)。
弗羅邁 氣體質(zhì)量流量控制器研發(fā)制造專家
深圳弗羅邁測(cè)控系統(tǒng)有限公司
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